1、 高真空濺鍍系統
2、 400 ton精密沖鍛機
3、 全電動式射出成形機
4、 塑膠射出成型系統
5、 ATOS照相量測系統 (型號：ATOS standard)
6、 ATOS照相量測系統 (型號：ATOS SO)
7、 Tritop照相量測系統
1、 2000W CO2雷射加工系統
2、 非平衡磁控濺鍍系統
3、 GDS輝光放電分析儀
4、 真空鑄模機
5、 立體快速成型套裝系統
1、 三次元表面輪廓測定儀
2、 乾式磨耗試驗機
3、 數字顯示微小硬度試驗機
4、 掃描式電子顯微鏡（SEM）
5、 三次元量床
6、 鐳射測定儀
7、 觸覺式設計系統（Free Form）
8、 表面輪廓儀（Surface Profiler）
9、 精密XY平台驅動裝置及雷射量測
10、 精密阻抗分析儀
11、 桌上型掃描系統
12、 微電鑄槽(Micro-Electroforming system)
13、 PEM-800 曝光機台
14、 正負脈衝整流器